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Evolution Materials Company

Pure Gas

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티이엠씨는 반도체 및 디스플레이용 특수가스(Specialty Gas)를 제조하는 소재전문기업입니다.
Pure Gas
Gas Purity Cyl Size Contents Valve Type
C4F6 3N5 (99.95%) 47L 45 kg CGA350, JIS22L
CO 4N5 (99.995%) 48L (Aluminuim) 13 ~ 15MPa CGA350, JIS22L
CHF3 5N (99.999%) 47L 35 kg CGA660, DISS716
COS 3N (99.9%) 47L 40 kg CGA330
11BF3 3N (99.9%) 2.3L 1.9 kg Customer Standard
C4F8 5N (99.999%) 47L~440L 50 kg JIS22R
C3F8 4N (99.99%) 47L 40 kg CGA660
CH2F2 5N (99.999%) 47L 30 kg JIS22L
※ Package can be modified under revision according to customer’s request